Bruker Weißlichtinterferometer (Contour GT K0)

Das Bruker Weißlichtinterferometer dient dem berührungslosen Messen der Topografie von Werkstücken mit hoher räumlicher Tiefenauflösung. Im Gegensatz zu ’normalen‘ Interferometern, die mit Licht langer Kohärenzlänge (z. B. Laser) arbeiten, können auch Oberflächen mit Stufen oder sogar raue Oberflächen vermessen werden.

Das System verwendet die Weißlichtinterferometrie, um die Oberflächentopographie von einer Rauheit im Nanometerbereich bis in den Millimeterbereich und mit einer Auflösung im Subnanometerbereich zu messen. Auf glatten Flächen können (longitudinale) Messgenauigkeiten im Bereich weniger nm erreicht werden. Mittels optischer Kohärenztomografie ist die Aufnahme von Informationen aus tiefer liegenden, streuenden oder reflektierenden Schichten möglich, wodurch man eine 3D-Ansicht der Materialoberfläche erhält.
Das Gerät ist zusätzlich mit einem automatisch verfahrbaren Tisch ausgestattet. Mittels „Stitching“ kann mit seiner Hilfe aus mehreren Aufnahmebereichen ein größeres Übersichtsbild zusammengefügt werden
Geräteparameter    
Vergrößerung 2,5 x bis 20 x  
Max. Auflösung XY 1,9 µm  
Auflösung Z Ca. 3 nm  
Verfahrweg XY  150 mm
Verfahrweg Z   100 mm 
Scan-Bereich Z   0,1 nm bis 10 mm  
Arbeitsabstand   6,7 mm/ 4,7 mm  
Max. Abtastgeschwindigkeit  28,1 µm/sec.  
Max. Probengewicht   4,5 kg  
3D-Rauheits-Kenngrößen     nach DIN EN ISO 25178 mittels der Vision64 Analyse-Software  

Beispielmessung